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“高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500 北京泰科诺科技”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | IS0:9001 |
| 加工定制： | 是 | 品牌： | 北京泰科诺科技 |
| 镀种： | 真空镀膜 | 适用范围： | 单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜等 |
| 产品别名： | 高真空磁控溅射镀膜设备 | 电镀电源： | 双脉冲电源 |
| 型号： | JCPY500 | 规格： | Φ500×H450mm |
| 商标： | 泰科诺 | 包装： | 木箱 |
| 产量： | 50 |
“高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500 北京泰科诺科技”详细介绍
北京泰科诺科技有限公司成立于2003年，10多年行业经验专注于真空镀膜产品的研发、生产制造和销售，专为各大专院校、科研院所和生产企业服务。产品遍布全国各个省市、自治区、直辖市和港澳台，远销美国、澳大利亚、土耳其、哈萨克斯坦等国。目前独立开发的ZHD蒸发系列、JCP磁控溅射系列、TEDM电子束系列、ZDM装饰镀系列、GDM硬质涂层系列，HF热丝金刚石系列等等工艺成熟，性能稳定；可根据用户不同需求，实现个性化定制服务，提供售前打样，售中调整，售后跟踪一条龙服务，是一家现代化的高新技术企业。
一、产品概述
1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途：
► 设备可溅射/蒸发两用；占地面积小，价格便宜，性能稳定，使用维护成本低；
► 可用于制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、磁性膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等；
► 镀膜示例：银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等；
► 单靶溅射、多靶依次溅射、共同溅射等功能。
二、技术参数
| 型号 | JCPY500 |
| 真空腔室结构 | 立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷 |
| 真空腔室尺寸 | Φ500×H450mm，带Load-Lock功能，支持单片或多片进取样 |
| 加热温度 | 室温～500℃ |
| 溅射方式 | 向上溅射 |
| 旋转基片台 | Φ150mm |
| 膜厚不均匀性 | Φ100mm范围内≤±5.0% |
| 溅射靶/蒸发电极 | Φ2、Φ3、Φ4英寸磁控靶2-4支可选 |
| 工艺气体 | 3路气体流量控制 |
| 控制方式 | PLC控制/工控机全自动控制可选 |
| 占地面积 | (主机）L1800×W800×H1845mm |
| 总功率 | ≥15KW |
